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單面研磨機

DM360-4A

  • 外形尺寸:2360× 1 700× 274 0mm
  • 設備重量:約4300kg

本機主要用于砷化鎵、硅片、碳化硅、藍寶石片、鍺片、鈮酸鋰、玻璃等硬脆材料,平行平面的單面高精高效率拋光。該機采用觸摸界面及PLC 控制。為用戶提供開放式的圖形操控界面, 充分發揮機械硬件性能;該機主傳動具有傳動鏈短、穩定可靠等特點:四個PP頭壓力單獨控制,單獨驅動, 下盤采用循化冷卻水強制冷卻, 溫度控制精確。

設備特點

  1. 主軸系統位于設備的下方, 由電機通過窄V帶拖動, 采用最短的傳動鏈保證了其運轉精度,下盤采用高精度軸承定位支撐,運轉剛度和精度都得到了良好的保障, 下盤軸下部裝有旋轉接頭, 用于下盤內通冷卻水, 下盤冷卻水流量可通過電動閥比例調節。

  2. PP拋光頭位于設備的上部, P P頭的升降及加壓由氣缸實現, 四個P P頭的升降及加壓均單獨控制; P P頭可主動旋轉, 單獨控制; PP頭具備真空吸附功能, 可將陶瓷盤快速提起;

  3. 在設備的上部箱體正面設有主操作面板, 可進行參數設定, 運行監控等功能, 在上箱體的兩個側面分別設有小操縱板用于四個P P 頭的升降操作;

  4. 拋光液、冷卻水、清洗水及氣路等從設備的后部引入;

  5. 在下盤的外側設有可滑動的防護罩, 可防止工作液的飛濺, 減少有害氣體的溢出。


設備規格

名稱

規格

備注

  • 下盤

    直徑

    ∅914mm

  • 材料

    SUS410

  • 轉速

    1 -90rpm

  • 驅動電機

    11KW

  • 上盤

    直徑

    ∅360mm

  • 材料

    SUS304或SUS316L

  • 轉速

    1 -90rpm

  • 驅動電機

    0.4kw

  • 壓力

    0- 300kg

  • 最大加工直徑

    ∅ 300mm( 或對角)

  • 微信公眾號

  • 手機網站

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